手动高分辨率调节架实例

提供两种类型的千分尺，可进行粗调(10um)和精调(0.5um)。

超精密定位器实例

手动粗调(10um)，部进电机调节(0.1um/脉冲)。

SMF

WG

SMF

X

粗调±6.5mm 10μm/pulse
精调±0.3mm 0.1μm/pulse

±6.5mm 10μm/pulse

粗调±6.5mm 10μm/pulse
精调±0.3mm 0.1μm/pulse

Y

±3.0mm 10μm/pulse

Z

±6.5mm 10μm/pulse

θx

±3°  ≈34"/div

-

±3°  ≈34"/div

θy

-

θz

-

-

-

电动调节架(XYZ)实例

机械驱动系统采用精密滚珠丝杠。自动调节可达到 0.05μm/步。 
通过自动调节控制器进行操作（可选）。

FA

WG

FA

X

±10mm 0.05μm/pulse

±6.5mm 10μm/pulse

±10mm 0.05μm/pulse

Y

±3.0mm 10μm/pulse

Z

-

θx

±3°  34"/div

-

±3°  34"/div

θy

±3°  ≈34"/div

θz

±10°  0.0045°/pulse

-

±10°  0.0045°/pulse